Lò kỵ khí

Sự miêu tả

Dòng lò nướng khí quyển trơ được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn để nướng tiền xử lý các tấm silicon, gali arsenide, lithium niobate, thủy tinh trước khi phủ PR, nướng màng cứng sau khi phủ PR và nướng ở nhiệt độ cao sau khi phát triển; Nó cũng thích hợp cho các bộ phận sản xuất và nghiên cứu khoa học, chẳng hạn như màn hình tinh thể lỏng điện tử, LCD, CMOS, IS và các phòng thí nghiệm; nó cũng có thể được sử dụng để sấy khô, xử lý nhiệt, lão hóa và các thử nghiệm nhiệt độ cao khác đối với các vật phẩm không bay hơi, không cháy và không nổ.

Thông số chính

►Thông số kỹ thuật

Công suất: Tùy chỉnh theo sản phẩm

Phạm vi nhiệt độ: Môi trường xung quanh +50°C ~ 250°C

Hàm lượng oxy: ≤50ppm

Độ đồng đều nhiệt độ: ± 2,5%

Tốc độ tăng tốc: Có thể kiểm soát

Đầu vào nitơ: Φ8

Lưu lượng nitơ: 0-240L/phút * 2 kênh

►Cấu trúc

. Lò nướng bên trong: Được làm bằng thép không gỉ và được hàn liền mạch bằng khí argon.

. Bịt kín: Buồng được bịt kín để giảm lượng oxy.

. Cấu trúc nạp khí: Cho phép các khí không oxy hóa lấp đầy buồng.

. Máy phân tích O2: Điều chỉnh chính xác nồng độ oxy trong khoảng 0,5~21%

► Hệ thống kiểm soát nhiệt độ

Bộ điều khiển nhiệt độ JAPAN RKC thông minh, lập trình và cài đặt giá trị cố định, tự động điều chỉnh AT, hiệu chỉnh bù và duy trì khi tắt nguồn.

► Đối lưu không khí cưỡng bức

Ống dẫn khí được cấp bằng sáng chế trong hệ thống lưu thông khí nóng có thể tự động điều chỉnh độ đồng đều nhiệt độ.

Tính năng cho lò kỵ khí (trơ)

► Xưởng thép không gỉ được hàn kín để ngăn chặn sự xâm nhập của không khí bên ngoài

► Sử dụng khí trơ nitơ để xử lý nhiệt kỵ khí

► Trang bị đồng hồ đo lưu lượng và áp suất

► Thiết bị an toàn đa bảo vệ

Tùy chọn

► Bộ điều khiển khả trình PLC+7”

► Đèn báo nhấp nháy ba màu

► Bộ hạn chế quá nhiệt

► Thiết bị an toàn bằng tay

Tại sao nên chọn Lò nướng khí trơ?

Ngày nay, vật liệu làm dây trong mạch điện đã chuyển từ nhôm sang đồng có điện trở suất thấp hơn. Vì vậy, khi xử lý nhiệt trong lò sấy thông thường, các bộ phận bằng đồng có thể bị oxy hóa, gây ra khuyết tật. Ngoài ra, quá trình lão hóa ở 250 độ C cũng được thực hiện để kiểm tra xem dữ liệu ghi trên bộ nhớ flash có bị xóa do di chuyển điện hay không và các bộ phận va đập có bị oxy hóa hay không, do đó hàm lượng oxy phải giảm xuống <100ppm. Lò kỵ khí này được phát triển để đáp ứng những nhu cầu này.

Ứng dụng

Lò sấy không khí trơ chủ yếu được sử dụng để đóng rắn keo BPO/keo PI/BCB, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, linh kiện điện tử có độ chính xác cao và các vật liệu khác trong môi trường oxy thấp để sấy khô và kiểm tra lão hóa .